磁控溅射聚酯(PET)表面沉积氧化硅(SiOx)薄膜的研究

摘要

采用缠绕式射频磁控溅射方法在PET表面沉积SiOx薄膜。通过红外光谱(FTIR)，扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察分析射频功率、薄膜厚度等参数对SiOx薄膜组成、表面形貌、阻隔性能的影响。FTIR分析表明，在射频功率达到一定值后，SiOx与基材PET相互作用而产生中间层;通过薄膜表面形貌及透湿与透氧测试发现射频电源功率2 000 W时，SiOx薄膜表面粗糙度最小，薄膜粒子间结合致密，对水蒸汽、氧气的阻隔性最好。