真空箱氦检漏回收系统的设计要素

摘要

氦质谱检漏仪发展于20世纪40年代,我国的检漏仪器制造开始于60年代初,历经半个多世纪的应用和发展,取得了辉煌的成果,从航空航天、军事工业、科学工程、核工业到轻工、医疗、仪器仪表、汽车、制冷,无处不在。真空检漏发展有两个方面,即一方面是检漏仪器本身,另一方面是检漏工艺技术的发展真空检漏技术广泛应用在电力产品、电子工业、制冷和低温工业、航空航天工业;以及核工业、仪表等等都已采用氦质谱检漏,显示出氦检漏的重要性和不可替代性。传统的检漏方法灵敏度低,使用烦杂,工作强度大等因素,已被高灵敏度、规范化、效率高的真空检漏技术--氦气回收检漏系统所代替并取得理想的效果。