极声真空校准室内残余气体的成分分析

摘要

用四极质谱计对316L不锈铜制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析,一个热阴极电离规(1E514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上,烘烤前，开、关热阴极电离规以及对其进行除气，放出的气体主要有H2O、CO、H2、CH4和CO2，烘烤后，开、关热阴极电离规以及对其进行除气，放出的气体主要有CO、H2、CO2和CH4，整个烘烤过程完成后2h，XHV校准室内的压力在室温下通过分子泵串联抽气机组抽至8.97×10-3Pa，用四极质谱计分析到的残余气体成分主要为H2和CO、整个烘烤过程完成后4h，打开非蒸散型吸气荆泵(NEGP)对xHV校准室抽气，结果表明NEGP对H2具有较大的抽速，但对碳氢类化合物(如CH4)和惰性气体几乎没有抽速.用NEGP对XHV校准室连续抽气72h后，xHV校准室内的压力从8.34×10-3Pa下降到9.12×10-10Pa。