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真空材料放气率测试方法研究

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总结了材料放气率测试的各种方法：定容法、固定流导法、收集法和称重法。介绍了真空材料放气率测试的原理和方法，阐述了各自的测量范围.优缺点和关键技术.

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来源
《第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会》|2009年|134-138|共5页
会议地点合肥
作者
曾祥坡;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空测试技术;
关键词
材料放气率; 定容法; 固定流导法; 收集法; 称重法;
入库时间 2022-08-17 10:57:30

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