Outgassing Rate and Ultimate Pressure Limitations of Vacuum Systems

机译：放气率和真空系统的最终压力限制

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Yoshio MURAKAMI;
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年度 1972
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1. Microelectromechanical system-based vacuum gauge for measuring pressure and outgassing rates in miniaturized vacuum microelectronic devices [J] . R. Kuljic, J. Chang, N. Jayapratha, Journal of Vacuum Science & Technology . 2011,第2期

机译：基于微机电系统的真空计，用于测量小型真空微电子设备中的压力和排气速度
2. Measurement of outgassing characteristics from a vacuum chamber fabricated for pressure calibration in UHV/XHV region [J] . Shingo Ichimura, Kiyohide Kokubun, Masahiro Hirata, Vacuum: Technology Applications & Ion Physics: The International Journal & Abstracting Service for Vacuum Science & Technology . 1999,第1a2期

机译：测量用于特高压/特高压地区的压力校准的真空室的脱气特性
3. Study on Vacuum Materials Outgassing Rate Using the Method of Switching Between Two Pumping Paths [J] . Y. Feng, M. Dong, D. Li, Mapan: Journal of Metrology Society of India . 2014,第4期

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4. Measurement of Outgassing Rates of Materials to be used in Vacuum System of SST-1 [C] . P. L. Thankey, K. S. Joshi, F. S. Pathan, Indian Vacuum Society National Symposium on Vacuum Science amp; Technology and Vacuum Metallurgy(IVSNS 2003); 20031015-17; Mumbai(IN) . 2003

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