磁控直流辉光等离子体放电特性

摘要

作者利用独立研制的实验教学用磁控直流辉光等离子体装置，为本校理学院二年级学生开设研究性实验课。实验装置具备真空放电室、真空获得及测量、磁场条件、诊断系统等完备的实验条件，实验内容可由学生根据调研自行确定，根据实验结果卷写小论文。作者从几十篇实验报告中将有关磁控直流辉光等离子体放电特性的实验结果加以归纳总结形成本文。