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利用扫描电子显微镜实现MEMS微观形态测试

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利用扫描电子显微镜(SEM)对MEMS器件关键工艺的微观形态进行测试、分析,实现SEM对MEMS的有效测量和工艺验证。

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来源
《四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十四届学术年会》|2009年|12-15|共4页
会议地点四川雅安
作者
张莉;
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作者单位

中国电子学会;

四川省电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试和检验;
关键词
微观形态; 电子显微镜; 微电子机械系统; 测试系统;

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