微束PIXE元素分布分析中的质量吸收矫正

摘要

介绍了扫描质子微探针进行二维元素分布分析过程中的样品自吸收矫正方法。在微束PIXE分析的同时进行扫描透射离子显微成像探测获取样品的质量分布，通过我们建立的专用吸收矫正程序，对由于激发质子能量随入射深度的变化以及出射X射线被样品自吸收造成的衰减因素进行了矫正。为验证该方法的有效性，对电场燃煤炉排放的球型颗粒进行了分析测试，由于探测器位置和样品质量分布因素造成的Ca元素分布偏差得到了矫正。