S型延迟线结构的设计及研究

摘要

选用XY112°-LiTaO3作为基底材料制作出了谐振频率为60MHz的S型声表面波延迟线结构。通过采用双通道结构来减小温度漂移带来的影响，将延迟线设计成S型结构，通过改变声表面波传播路径来抑制体波干扰，减小三次行程信号。为获得较好的旁瓣抑制，应尽量抑制谐波，特别是三次谐波的激发，采用单指条的叉指换能器，设其金属化比玎为0.5。经测试，该器件输出的信号在中心频率处较为平滑，极大的抑制了三次渡越问题和体波干扰，这种结构可以减少温度漂移带来的影响，这对于提高声表面波延迟线振荡器输出频率的稳定性和测量时的准确性起到了极其重要的作用。