不同衬底对溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜结构的影响

摘要

TiO2 薄膜通过溶胶凝胶法（sol-gel）沉积在SiNx、SiOx、Si等不同衬底上，并采用XRD、 Raman光谱等实验手段分析TiO2 薄膜在不同衬底上的结构特点。结果表明，衬底对TiO2 薄膜的结晶质量等性质有着重要影响，在SiNx 衬底上的薄膜有较好的结晶质量。