微波烧结高密度ITO靶材

摘要

通过XRD和SEM等手段研究了微波条件下气氛和温度对ITO靶材密度的影响。结果表明，与常规烧结方法相比，微波烧结能降低ITO靶材的烧结温度，大幅度缩短ITO靶材的烧结周期;在纯氧气氛下，1500℃微波烧结的ITO靶材相对密度达到99.2％，ITO靶材经过微波烧结后，组织均匀无气孔，不存在第二相，晶粒尺寸大致为3～4μm。