一种新型微波等离子体七角腔的仿真与优化设计

摘要

拥有特殊性能的新型微波等离子体设备在微波领域逐渐凸显出重要的工业价值。在改变七角腔边长和端头长度的情况下，利用电磁波仿真软件HFSS对一种新型微波等离子体七角腔内的电场分布进行了仿真和优化设计。研究表明，在技术参数最优时，负载区域电场最强且分布最均匀，功率密度最大，激发出了高强度等离子体，获得了预期的高温，满足了相应工程的需要。