微双桥结构氢气传感技术研究

摘要

基于催化燃烧式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微双桥结构载体,采用平面薄膜工艺制做铂薄膜热敏电阻,涂敷Al2O3-ZrO-Th0-Pd和Al2O3-ZrO-Th0形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,实现在微双桥上催化桥臂和补偿桥臂的单片集成,制作出氢气传感器.测试结果表明：传感器可实现体积分数0～40000×10-6氢气检测,具有线性输出特性,温度为5～45 ℃的传感器的最大零点输出优于±1.0%。