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微执行器技术综述

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微电子机械系统技术是多种学科交叉融合的前沿高新技术,是未来的主导产业之一.微执行器是该系统的核心部件.本文简要介绍了微执行器技术的国内外研究情况,并对微执行器的设计、加工和测试等关键技术、典型器件和未来发展趋势进行了详细的论述.

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来源
《2010微系统技术发展研讨会》|2010年|50-59|共10页
会议地点贵阳
作者
CHEN Li-jie; 陈丽洁; SHI Xin; 史鑫; Wang Wei; 王伟;
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作者单位

《中国电子科学研究院学报》杂志社;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
微执行器; 加工工艺; 结构优化; 产品质量;
入库时间 2022-08-17 10:43:04

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