烧结方法对AlN陶瓷微观形貌及热导率的影响

摘要

采用真空烧结、N2保护无压烧结、放电等离子烧结等方法对AIN粉末进行烧结，研究烧结方法对粉体烧结行为以及产物物相组成、微观形貌及热导率的影响。结果表明：真空烧结会显著降低AIN材料的脱氮分解温度，无法实现其致密化;而通过N2保护无压烧结和放电等离子烧结的方法均能得到结构致密、热导率较高的AIN陶瓷，其中后者的烧结温度更低、制得陶瓷样品的致密度和热导率更高，在1650℃保温10 min即可烧结得到热导率为121．5 W·m-1·K-1的AIN陶瓷。