Li_2O对低温烧结AlN陶瓷热导率的影响

摘要

使用CaF2 ,Y2 O3和Li2 CO3做添加剂 ,在 16 5 0℃的低温下制备出热导率高于 170W m·K的AlN陶瓷 ,通过使用SEM ,TEM和XRD研究了AlN陶瓷在烧结过程中微结构与晶格参数的变化 ,并讨论了其对热导率的影响。研究发现 ,当使用CaF2 Y2 O3做添加剂时 ,液相对晶粒浸润性较差 ,不利于AlN晶格的纯化 ,AlN热导率的增加主要来自于致密度的提高。而Li2 O的加入则改善了液相与AlN晶粒的浸润性 ,从而促进了AlN晶格的纯化 。