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武红磊; 郑瑞生; 刘文; 郑伟;
中国电子学会;
AlN晶体; SiC衬底; 物理气相传输;
机译:金属有机化学气相沉积法在4H-SiC衬底上两步生长AlN薄膜的实验研究
机译:SiC衬底上SiO_2 / AlInN / AlN / GaN金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管的传输特性
机译:拉曼光谱研究氢辅助物理气相传输法生长的6H-SiC晶体的电学性质
机译:通过化学气相沉积法在AlN / Si(100)复合衬底上生长4H-SiC
机译:AlN,4H-SiC,3C-SiC和ZrB2衬底上磷化硼的外延。
机译:AlN晶体生长的物理气相传输方法
机译:Y2O3-AlN,Y2O3-Al2O3,R2O3-AlN的共晶混合物自发渗透制备SiC陶瓷的可行性研究Y2O3-AlN,Y2O3-Al2O3,R2O3-AlN自发渗透制备SiC陶瓷的可行性研究
机译:低压金属有机化学气相沉积法研究基面蓝宝石和siC衬底上alN和GaN层初始生长的微观结构比较
机译:SiC晶体的制造方法和SiC晶体,以使微管从衬底延续到衬底,SiC单晶膜,SiC半导体元件,SiC单晶衬底
机译:制备固溶体(SiC) 4-x Sub>(AlN) x Sub>(AlN)(SiC) 1-x i>的外延层的方法子>(AlN)<子> x Sub>
机译:通过化学气相沉积法在硅衬底上制备镍薄膜的方法以及在硅衬底上制备硅化镍薄膜的方法
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