次磷酸盐为还原剂的化学镀铜研究进展——镀液和镀层特性及沉积机理研究

摘要

随着大家对环境保护的重视,现广泛使用的以甲醛为还原剂的化学镀铜体系将被环境友好型的化学镀铜体系所取代。而以次磷酸盐为还原剂的化学镀铜体系工艺参数范围大,镀液寿命长,环境友好,可能成为化学镀铜的发展方向。对以次磷酸盐为还原剂的化学镀铜体系的镀液和镀层性能及沉积过程和机理进行了综述,对于该化学镀铜体系的发展方向进行了展望。