MOCVD技术柔性衬底上生长绒面ZnO-TCO薄膜及其薄膜太阳电池应用研究

摘要

柔性硅基薄膜太阳电池研究逐渐成为硅基薄膜太阳电池研究热点。在国际上，研究人员普遍采用nip的电池结构，而pin柔性太阳电池的研究较少，并且pin柔性薄膜电池的研究重点是绒面结构TCO薄膜的研究。本文利用LP-MOCVD技术在PET柔性衬底上低温生长绒面结构ZnO-TCO薄膜，详细研究了薄膜掺杂流量对ZnO薄膜微观结构以及光电性能影响。DEZn和H20作为源材料，B2H6作为掺杂剂。优化获得的ZnO薄膜厚度～1500nm时，绒面结构PET/ZnO薄膜的方块电阻～10～20Q，可见光及近红外范围平均透过率～75％～80％，初步应用于a-Si薄膜电池转换效率达～6.3％(电池结构：PET/ZnO-TCO/pin-a-Si/Al)。