平晶平面度测量方法的研究

摘要

针对不同精度平晶的测量要求，介绍了3种平晶平面度的测量方法。阐述了比较测量的原理以及测量精度的局限性。对于高精度平晶的检测，介绍了2种绝对测量的方法。对这2种方法编制了模拟程序和数据处理程序，并进行了实验。不同方法的测试结果符合较好，面形评价数据在相同数量级上，验证了测试方法的可行性，实现了无参考面的高精度测量。