声明
1 绪论
1.1 课题背景与意义
1.2 水平仪研究现状
（1）水准器原理水平仪
（2）摆锤原理水平仪
（3）其它种类水平仪
1.3 平面度误差测量方法研究现状
1.3.1 平面度误差测量方法的分类
1.3.2 平面度误差测量方法研究现状
1.4 课题研究内容与章节安排
2 光电水平仪测量原理
2.1 光电水平仪角度测量原理
2.2 四象限光电探测器
2.2.1 四象限的基本构成
2.2.2 光斑位置与四象限输出电压关系
2.3 自准直仪光学原理
2.4 光电水平仪的光路设计
2.5 本章小结
3 光电水平仪系统设计
3.1 光电水平仪结构设计
3.1.1 光学元件工装夹具
3.1.2 二维角度调整模块
3.1.3 液体容器与壳体结构
3.2 光电水平仪的装配过程
3.3 装配误差分析与仿真分析
3.3.1 焦距误差
3.3.2 激光器偏移引入的误差
3.3.3 平面反射镜偏角引入的误差
3.3.4 工件热变形仿真分析
3.3.5 光电水平仪结构模态仿真分析
3.4 光电水平仪程序设计
3.4.1 数据采集程序设计
3.4.2 巴特沃斯滤波
3.5 本章小结
4 光电水平仪的性能实验研究
4.1 光电水平仪标定实验
4.2 光电水平仪稳定性实验
4.3 测量重复性实验
4.4 本章小结
5 光电水平仪测量平面度误差方法的研究
5.1 平面度误差测量原理
5.2 平台的水平检测与调整方法
5.3 水平仪法测量平面度误差
5.3.1 二维测角光电水平仪测量平面度误差的方法
5.3.2 测量方法对比分析
5.3.3 平面度误差的评定分析
5.4 平面度误差测量实验
5.5 本章小结
结论
参考文献
附录A 平面度等级计算标准
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
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