基于MEMS工艺的亚毫米波混频器传输线制作技术

摘要

混频器是毫米波器件传输信号的基本元件,本文介绍了一种以MEMS技术为基础的新型的混频器微带线加工工艺.与传统加工工艺相比MEMS器件具有体积小、功耗低、重量轻、成本低等优点,并与传统的IC技术相兼容,这些特点满足了目前毫米波器件应用中微型化,集成化,规模化的要求.本文涉及的基本工艺包括溅射、光刻、电镀、刻蚀、释放等.另外,本文还对多层结构之间的结合力,正负胶叠层技术,牺牲层技术,多层释放技术等问题进行了较为深刻的研究,并最终确定了合适的工艺参数.