微电子封装设备XY平台的结构设计

摘要

本文设计了引线框架键合机的并联机构的XY工作台，分析了工作台的结构原理，使用COSMOSWorks软件对工作台进行了结构建模、静态特性分析和模态特性分析，确保设计结构可以满足工作台的送片功能要求。