真空规校准结果的处理

摘要

本文介绍了一种新的真空规校准结果处理的方法。大多数情况下真空规采用给出平均修正因子的方法进行修正，但对于线性较差的真空规采用此方法会有较大的误差，采用线性拟合的方法进行纠正就能很好的减小修正后的误差。本文以具体实例单独采用这两种方法及相互结合的方法对校准结果行修正。并给出了对比结果。