測定学から見た真空計測の基礎 (3)真空計の校正結果と不確かさ評価の例

摘要

This third lecture of "Basics of Vacuum measurement from viewpoint of Metrology" gives an example to estimate measurement uncertainties based on "Guide to the expression of Uncertainty in Measurement (GUM)" for calibrations of vacuum gauges. Both a capacitance diaphragm gauge (CDG) and a pirani gauge were calibrated by direct comparison to another CDG used as a reference gauge based on JIS Z 8750. Both the procedure to summarize the calibration results and the method to estimate the expanded uncertainty are explained.%本講座の第1回目では,不確かさ評価を理解する上で不可欠な,確率分布という考え方を解説した.第2回目では,真空計の校正作業で使用する計測用語と,真空計測という技術分野の中で"校正"が貢献できる範囲や役割を解説した.これらと,不確かさやトレーサビリティに対する一般知識,そして,偏微分•全微分という数学の知識があれば,これから解説する「真空計の校正結果と不確かさ評価の計算例」を読む準備ができていると思う.