測定学から見た真空計測の基礎 (1)真空計測で用いられる計測用語

摘要

A basic lecture of vacuum measurement from viewpoint of Metrology is given. The purpose of this lecture is to provide the method to report the measurement results of vacuum pressure based on "Guide to the expression of Uncertainty in Measurement (GUM)", which is the shortcut to understand how to measure vacuum pressure quantitatively. First of all, technical terms used in vacuum measurement are explained on the basis of the definition of Japanese Industrial Standard (JIS).%真空計測の難しさとは一体何であろうか？真空装置に真空計を取付けて電源を入れ，表示された値を読み取るだけであれば，何の難しさもない.しかし，その測定結果を，社会的な責任を伴つて第三者に報告し，さらには保証しなければならないとなると，話は大分違ってくる.なぜなら，「その測定結果はどれくらい正しいのか（信頼できるのか）？」と問われた時に，何らかの"答え"が必要だからである.真空計の指示値は，様々な要因により，時には1桁以上異なつ.た値を示すこともあるから，指示値を読んだだけで測定した圧力の"絶対値"を保証できるかとなると非常に心許ない.さて，どうすれば，第三者に納得してもらえるように，測定した圧力値が少なくともある範囲においては正しいと報告することができるのであろうか.これが真空計測の難しさであり，本講座で取り組みたいと考えている大目標である.