氮化硅基导电陶瓷的研制

摘要

本文采用宁夏自产高温自蔓延燃烧合成的氮化硅粉料，加入稀土氧化物等作为烧结助剂，以无压液相烧结的方式、选用TiN作为导电助剂对氮化硅陶瓷的导电性进行了研究。检测了烧结样品的体密度、机械性能和电阻率等性能。用SEM、EDX、XRD观察分析了样品的显微结构和相组成等。结果表明：试样密度达剑了95%以上，物相以是β-Sialon和导电相为主；β-Sialon晶粒主要为长柱状，导电颗粒则均匀分布形成了导线网络；试样有良好的机械性能，其电阻率从1012 Ω·cm以上降至1 Ω·cm以下。