蓝绿光LED管芯表面钝化膜特性的研究

摘要

蓝宝石衬底GaN基蓝绿光LED管芯因其表面双电极特点，部分pn结区裸露在管芯表面覆盖一层透明的介质膜，一方面能有效保护芯片结区不被污染，一方面还能优化芯片的光特性。本文主要研究了不同镀膜方式钝化膜、不同材料组成钝化膜对蓝绿光芯片的光电特性的影响。氧化硅薄膜中生长过程中含氧量越高，薄膜的透过率也越好，LED芯片的发光强度越高。