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采用EELS和TEM对Ni—BaTiO3纳米复合薄膜微观结构的分析

摘要

本文采用激光分子束外延法(L-MBE)生长Ni-BaTi03复合外延薄膜,并采用能量损失谱(EELS)和透射电子显微像((TEM)对薄膜进行分析.截面TEM样品用聚焦粒子束( FIB)法切割制得。Gatan DigitalMicrograph TM软件分析高分辨透射电子显微像(HRTEM)以及EELS。

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