亚微米聚酰亚胺薄膜的制备工艺优化

摘要

通过旋涂制备酰胺酸薄膜，在氮气下高温酸亚胺化制备了聚酰亚胺薄膜。考察了溶液浓度以及旋涂速度对薄膜厚度的影响，获得了厚度约400nm均匀性95%的薄膜。与09年制备的薄膜相比厚度和均匀性(90%)均获得了很大的提高.