化学流体沉积技术制备金属涂层

摘要

本文介绍了运用化学流体沉积技术(CFD)，制备高质量金属薄膜(镀层、涂层)和金属纳米粒子的方法。该技术以超临界流体为介质，还原金属有机化合物，得到金属涂层或纳米材料，具有保形性好，涂层内部应力小，纯度高，称底温度底，可在复杂表面涂层等优点。