聚酰亚胺/SiO2-Al2O3三层复合薄膜制备工艺研究

摘要

本论文分别研究了聚酰亚胺三层复合薄膜制备工艺中的一、二层成膜温度及时间、三层膜中单层掺杂层与未掺杂层的厚度比、无机粒子的含量和无机组分重量比等因素对聚酰亚胺三层复合薄膜亚胺化程度、力学性能和介电性能的影响。