椭圆偏振法研究双层薄膜的形成

摘要

根据双层均质薄膜的两种不同生长模型,编写了处理双层膜的椭圆偏振参数的计算程序。用此计算程序对实验测出的椭偏数据△、ψ进行拟合计算,不但可以得到双层膜厚度和光学常数,而且还可以推测出双层膜的生长机制。文中列举了用该程序进行拟合计算的实例,分析了△、ψ的随机误差对拟合计算结果的影响,并对该程序的可靠性进行了验证。