CSD法超导薄膜的形成机制和超导电性研究

摘要

利用化学喷雾沉积法（CSD法）在未定向的ZrO2单晶衬底上获得了零电阻温度高于85K和转变宽度为2K、厚度小于5μm的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜，以XRD、XPS和SEM等手段研究了不同制备条件下薄膜的晶体结构、电子结构和显微表貌，讨论了材料膜形成机制及其与超导电性的关系。