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Aluminum alloy deposition film, display wiring film, display device, sputtering target, and manufacturing method of Al alloy deposition film

机译：铝合金沉积薄膜，显示布线膜，显示装置，溅射靶和Al合金沉积膜的制造方法

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摘要

【課題】本発明は、耐屈曲性に優れるＡｌ合金蒸着膜を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の一態様に係るＡｌ合金蒸着膜は、Ａｌ結晶粒と、Ａｌ及び他の金属元素の金属間化合物とを含み、上記Ａｌ結晶粒の平均粒子径が２００ｎｍ以下であり、屈曲試験を行う前の電気抵抗率に対する同試験を１０万回行った後の電気抵抗率の比が１．６以下である。【選択図】図１

机译：本发明的一个目的是提供一种Al合金沉积膜，其具有优异的弯曲性。根据本发明的一个方面的Al合金蒸发膜包括Al晶粒，Al和其他金属元素的金属间化合物，Al晶粒的平均粒径为200nm或更小，电气的比例在进行弯曲试验之前，电阻率100,000倍后电阻率为1.6或更少。图1

著录项

公开/公告号JP2021169654A

专利类型
公开/公告日2021-10-28

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社神戸製鋼所;
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申请/专利号JP20200073595
发明设计人倉千晴;越智元隆;
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申请日2020-04-16
分类号C23C14/14;C23C14/34;C23C14/58;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/532;G09F9/30;
国家 JP
入库时间 2022-08-24 21:59:00

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