公开/公告号US11127567B2
专利类型
公开/公告日2021-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US202016866065
发明设计人 HU KANG;ADRIEN LAVOIE;SHANKAR SWAMINATHAN;JUN QIAN;CHLOE BALDASSERONI;FRANK PASQUALE;ANDREW DUVALL;TED MINSHALL;JENNIFER PETRAGLIA;KARL LEESER;DAVID SMITH;SESHA VARADARAJAN;EDWARD AUGUSTYNIAK;DOUGLAS KEIL;
申请日2020-05-04
分类号C23C16/50;H01J37/32;C23C16/505;C23C16/455;C23C16/40;C23C16/34;C23C16/509;
国家 US
入库时间 2024-06-14 22:05:20