公开/公告号US11081348B2
专利类型
公开/公告日2021-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201816001251
申请日2018-06-06
分类号H01L21/02;A61K9;A61K31/438;A61K31/4409;A61K31/47;A61K31/497;A61K47/12;A61K47/26;A61K47/36;H01L21/3065;
国家 US
入库时间 2022-08-24 20:18:02