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SPECTRUM SHAPING DEVICES AND TECHNIQUES FOR OPTICAL CHARACTERIZATION APPLICATIONS

机译:光谱整形装置和光学特征应用的技术

摘要

Implementations disclosed describe a system comprising a first optical device to receive an input beam of light, the input beam having a plurality of spectral components of light, and cause the input beam to disperse into a plurality of spectral beams, wherein each of the plurality of spectral beams corresponds to one of the plurality of spectral components and propagates along a spatial path that is different from spatial paths of other spectral beams, and a second optical device to collect a portion of each of the spectral beams, wherein the collected portion depends on the spatial path of the respective spectral beam, and form an output beam of light from the collected portion of each of the spectral beams, wherein a spectral profile of the output beam is different from a spectral profile of the input beam of light.
机译:所公开的实现描述了一种系统,该系统包括第一光学装置,用于接收输入光束光束,输入光束具有多个光的光谱分量,并使输入光束分散到多个谱束中,其中多个中的每一个光谱光束对应于多个光谱分量中的一个,并且沿着与其他光束的空间路径不同的空间路径传播,以及第二光学装置收集每个光谱束的一部分,其中收集的部分取决于各个光谱光束的空间路径,并从每个光谱光束的收集部分形成输出光束,其中输出光束的光谱分布与输入光束的光谱分布不同。

著录项

  • 公开/公告号US2021223102A1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-07-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;

    申请/专利号US202016749168

  • 申请日2020-01-22

  • 分类号G01J3/28;G01J3/14;G01J3/02;G02B6/293;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 20:03:49

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