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SUBSTRATE SURFACE MODIFIER FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION AND VAPOR DEPOSITION, AND METHOD FOR MODIFYING SURFACE OF SUBSTRATE USING SAME

机译:用于原子层沉积和气相沉积的基板表面改性剂,以及使用该原料改变基板表面的方法

摘要

Disclosed are a surface modifier for uniformly modifying the surface of a substrate such as an inorganic thin film by means of atomic layer deposition or vapor deposition, and a method, for modifying the surface of a substrate, using same.
机译:公开了一种表面改性剂,用于通过原子层沉积或气相沉积均匀地改变诸如无机薄膜的基板的表面,以及用于改变基板的表面的方法,使用该方法。

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