公开/公告号KR20210021527A
专利类型
公开/公告日2021-02-26
原文格式PDF
申请/专利权人 후지필름 가부시키가이샤;
申请/专利号KR20217001039
发明设计人 오야 타카히로;
申请日2019-08-20
分类号G02B5/22;F21S41/43;F21S45/10;G02B1/02;G02B1/04;G02B1/10;G03F7/004;G03F7/037;G03F7/105;H01L27/146;
国家 KR
入库时间 2022-08-24 17:24:37