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机译:钨与钨的扩散连接
公开/公告号FR1375999A
专利类型
公开/公告日1964-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 ATOMIC ENERGY COMMISSION;UNITED STATES ATOMIC ENERGY COMMISSION;
申请/专利号FR19630949742
发明设计人 BATISTA ROY I;BATISTA ROY I.;HANKS GALE S;HANKS GALE S.;MURPHY DANIEL J;MURPHY DANIEL J.;
申请日1963-10-07
分类号B23K20/233;B23K35;
国家 FR
入库时间 2022-08-23 16:21:12
机译: 用于计算机互连金属化的氮化钨,氮化钨膜和氮化钨扩散阻挡层的低温有机化学气相沉积方法
机译: 在不将钨硅化物层中的氟扩散到门氧化物层中的情况下,形成半导体装置中的钨硅化物层的方法
机译: 利用钨塞的氮化在钨塞上形成具有改进的附着力,抗氧化性和扩散阻挡性能的铜镶嵌结构的方法