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机译:用于曝光和分配的装置,并且需要太妃糖等
公开/公告号FR1377195A
专利类型
公开/公告日1964-10-31
原文格式PDF
申请/专利权人 DUFOUR S P A;DUFOUR S.P.A.;
申请/专利号FR19630957439
发明设计人
申请日1963-12-17
分类号A47F1/08;
国家 FR
入库时间 2022-08-23 16:20:59
机译: 用于管理曝光设备的设备,一种曝光方法和一种设备制造方法,能够减少针对多个基材实现曝光过程所需的时间
机译: 带电束曝光的能量吸收分布的计算方法,模拟器,带电束曝光方法,半导体设备和面罩的制造方法以及记录程序的记录介质,用于计算吸收的能量分布
机译: 连接措施和曝光设备固定系统所需的曝光设备。