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机译：聚焦带电粒子以提供零动量分散的方法
公开/公告号US3138706A
专利类型
公开/公告日1964-06-23
原文格式PDF
申请/专利权人 BROWN;
申请/专利号US19610106331
发明设计人 BROWN KARL L.;STREIB JOHN F.;PANOFSKY WOLFGANG K. H.;
申请日1961-04-28
分类号H01J49/40;
国家 US
入库时间 2022-08-23 16:11:15
机译： 在样品的表面区域上自动聚焦带电粒子束的方法，计算带电粒子束装置的图像的图像的锐度值的会聚集和用于成像的带电粒子束装置
机译： 一种自动将带电粒子束聚焦在样品的表面区域上的方法，该方法计算带电粒子束装置的图像的图像的一组会聚锐度值，以及用于成像样品的带电粒子束装置
机译： 在样品的表面区域上自动聚焦带电粒子束的方法，计算带电粒子束装置的图像的图像的锐度值和用于成像样品的带电粒子束装置的锐度值的方法
