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Apparatus for the production of semiconductor material by thermal decomposition of a gaseous compound and method for operating the device

机译:通过气态化合物的热分解生产半导体材料的设备和操作该设备的方法

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号DE1205057B

    专利类型

  • 公开/公告日1965-11-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SIEMENS AG;

    申请/专利号DE1961S073920

  • 发明设计人 RUMMEL DR THEODOR;HENKER DR HEINZ;

    申请日1961-05-12

  • 分类号C30B13/20;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-23 15:06:57

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