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Crucible for vapor deposition of aluminum layers principles of the pressure below atmospheric phae

机译:汽相沉积铝层的坩埚低于常压的压力原理

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号DE1280019B

    专利类型

  • 公开/公告日1968-10-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 UNION CARBIDE CORP;

    申请/专利号DE1961U008209

  • 发明设计人 JUN VICTOR MANDORF;

    申请日1961-07-22

  • 分类号C04B35/583;C23C14/26;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-23 13:18:15

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