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机译:采用箔缠绕螺线管的电子束聚焦装置
公开/公告号FR1553279A
专利类型
公开/公告日1969-01-10
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号FRD1553279
发明设计人
申请日1968-01-24
分类号H01J23/00;H01J23/087;
国家 FR
入库时间 2022-08-23 11:58:45
机译: 电子束聚焦装置采用箔缠绕的电磁阀
机译: 采用箔缠绕螺线管的电子束聚焦装置
机译: 电子束聚焦装置,其形式在晶片和电子束发射器与采用该装置的电子束投射光刻系统之间形成均匀的电磁场