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机译:采用箔缠绕螺线管的电子束聚焦装置
公开/公告号US3411033A
专利类型
公开/公告日1968-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY;
申请/专利号US19670617622
发明设计人 KING LEONARD T.;
申请日1967-02-21
分类号H01J23/00;H01J23/087;
国家 US
入库时间 2022-08-23 11:48:31
机译: 电子束聚焦装置采用箔缠绕的电磁阀
机译: 采用箔缠绕螺线管的电子束聚焦装置
机译: 电子束聚焦装置,其形式在晶片和电子束发射器与采用该装置的电子束投射光刻系统之间形成均匀的电磁场