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Arrangement and method for preventing prat of the pin of metal in the case of the vapor deposition thinner metal layers

机译：在气相沉积较薄的金属层的情况下防止金属钉夹住的装置和方法

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  • 公开/公告号DE1926927A1

    专利类型

  • 公开/公告日1969-12-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 BURROUGHS CORP.;

    申请/专利号DE19691926927

  • 发明设计人 A. COLARUDOPH;F. GERBERJOHANNES;

    申请日1969-05-27

  • 分类号C23C13/00;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-23 11:16:00

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