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机译:发射光谱法监测蒸气沉积炉中的蒸气密度
公开/公告号US3609378A
专利类型
公开/公告日1971-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 AIR REDUCTION CO. INC.;
申请/专利号USD3609378
发明设计人 HUGH ROSCOE SMITH JR.;
申请日1966-10-31
分类号G02F1/28;
国家 US
入库时间 2022-08-23 09:01:02
机译: 发射光谱监测蒸气密度
机译: 通过发射光谱监测蒸气密度。
机译: 蒸气发射装置,有机薄膜蒸气沉积装置及有机薄膜蒸气沉积方法