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REFLECTION TYPE ELECTRONNDIFFRACTION APPARATUS

机译:反射型电子衍射仪

摘要

PURPOSE:To make possible to carry out the elementary analysis for the crystal surface simultaneously in the reflection type electron-diffraction apparatus for very small portion of the surface employing the thin flux of the primary electron ray, by arrnaging the primary electron ray irradiating system and the cylindrical mirror type electron energy analyzer on the same axis.
机译:目的:通过使用一次电子射线的细束通量,通过使用一次电子射线的细束通量,在反射型电子衍射仪中对表面很小的一部分同时进行晶体表面的元素分析成为可能。在同一轴上的圆柱镜型电子能量分析仪。

著录项

  • 公开/公告号JPS5359484A

    专利类型

  • 公开/公告日1978-05-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HITACHI LTD;

    申请/专利号JP19760134054

  • 发明设计人 HAYAKAWA KAZUNOBU;

    申请日1976-11-10

  • 分类号G01N23/207;H01J37/295;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 23:09:25

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